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淮安Viber X5振动分析仪销售***「在线咨询」

发布时间:2022-05-09 03:00:00        作者:金斗云测控







昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。


瑞典VMI振动分析仪VIBER X5规格说明:

常规功能

停机测试

停机程序用来分析当机器的转速逐渐降低的过程中,例如停机时可测量机器的共振和临界转速。仪器以两个绘图显示该测量,振幅和相位随机器转速变化的曲线。

Vibshape

这是一个 ODS 动画模块,主要用于分析设备结构的变形共振等结构性的振动,通过 ODS 动画的方式呈现出来,便于振动分析师快速且准确的提交解决方案。






瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是世界上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准,VC微振动标准分为:VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。***名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS,无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。






瑞典VMI Viber X5振动分析仪成功解决离心式除尘器转子平衡校正

离心式除尘器除尘原理与反转式惯性力除尘装置类似。但惯性力除尘器中的含尘气流只是受设备的形状或挡板的影响,简单地改变了流线方向,只作半圈或一圈旋转;可离心力除尘器中的气流旋转不止一圈,旋转流速也较大,因此,旋转气流中的粒子受到的离心力比重力大得多。离心式除尘器作为转动设备,转子平衡不良是其常见故障,那么离心式除尘器转子的平衡校正应该如何进行?使用瑞典VMI Viber X5振动分析仪的动平衡校正功能可以轻松解决。






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