浙江齿轮箱振动分析服务-金斗云测控设备

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是世界上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

频谱测量 : 这个测量显示出设备振动的频谱图及时间波形，主要分析设备的不平衡、不对中、机械松动等故障，此功能拥有高达25600 线数，高达 131KHz 以上的采样速率。

包络测量 : 包络是强调高频能量的频谱测量，主要用于发现轴承、齿 轮 箱 的 早 期 故 障 以 及 泵 的 气 蚀 等，此 功 能 拥 有 从20Hz-20000Hz 不同频宽的选择。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

VMI及授权代理商对于因使用VIBER X5 Ⅲ TM仪器时所发生之设备及工安事故不负保障责任。

即使尽大努力针对使用者提供完善的操作功能，齿轮箱振动分析服务，仍可能会存在些微资料遗漏情况；有鉴于此，我们会更进一步持续更改及修正更完善的操作功能项目说明，确保VIBER X5 Ⅲ TM 仪器准确度以符合广大使用者的需求。