VIBER X5智能双通道振动分析仪-昆山金斗云测控设备

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是世界上精密的仪器，VIBER X5智能双通道振动分析仪，对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI多功能振动分析仪Viber X5是广受用户欢迎的Easy Viber的更新换代产品。ViberX5 利用了Texas 仪器处理器的性能强，具备工业应用中快速的DSP 处理器，同时继承了历经时间考验的被广泛认可的功能特性，快捷完成各种现场振动分析工作。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI振动分析仪VIBER X5规格说明：

常规功能

转速

转速 ( 机器旋转 ) 可以用外部传感器测量，这个应用程序也可以计算出齿轮的转速，假如你知道齿轮传动比。

过程

用过程应用程序可测量 1 - 5 V DC 或 4 - 20 mA 信号范围内的任何过程参数。

启机测试

启机用来分析机器的共振或临界转速，和监测蒸汽透平设备开机过程随着转速逐渐升高由于不均匀的加热导致轴的过度弯曲。